熱に弱い材料である、熱可塑性樹脂や薄膜樹脂フィルムへも安心してご利用いただくことができます。

プラズマガス温度が非常に低く、長時間ワークへ処理し続けることもできます。

電子基板・電子部品に対してもご使用いただけます。

中性なラジカル粒子のみを照射しているため、電気的なダメージを与えることなくプラズマ処理ができます。