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NXT-H

ウエハ、リール部品実装を1台に集約。
ウエハからのダイレクトピックアップ生産に加え、トレイ部品やリール部品にも対応可能です。

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高い装着精度

高剛性構造設計をベースにリニアモータ駆動、高性能カメラを装備。先進的制御技術による最適加重装着と併せ、高精度・高品質な実装を実現します。

クリーン度クラス1000対応

HEPAフィルターにより、クリーン度クラス1000に対応。

クリーンルームで使用されることを前提とし、XYロボットはクリーン化に対応。HEPAフィルタも装着可能で、より半導体部品に適した環境を実現します。

簡単操作

大型15インチタッチパネルとグラフィカルインターフェースを採用。装置本体だけでなく、MWU12iの操作も一元化しました。

ウエハマップ情報の管理はもちろんのこと、フォーマットの変換にも対応しています。

※ユーザーフォーマットは個別対応。

関連情報

FUJIの製品は、中小企業等経営強化法の対象設備です。

中小企業経営強化法に基づき「経営力向上計画」の認定を受けた事業者は、計画実行のための支援措置（税制措置[法人税・所得税等]、金融支援、法的支援）を受けることが出来ます。

日本ロボット工業会　中小企業等経営強化法案内ページ >>
FUJIの対象製品一覧 >>　（2023年11月22日更新）

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